1

איור 1. נקודת העיבוד השבבי במיקרו עיבוד שבבי נמדדת באמצעות גשושים (probs) קיבוליים ללא מגע, שמותקנים בתוך תא microNest, כדי למדוד כדור מדויק בגודל חצי אינטש. על מנת לבצע מדידות במכונה רגילה משתמשים בכדור בגודל אינטש אחד ובתא מדידה גדול יותר בהרבה.