נובה נבחרה ע”י יצרן שבבים מוביל לספק פתרונות מטרולוגיה עבור טכנולוגיות ייצור של 10 ו-7 ננומטר
הפתרון של נובה נבחר בזכות מענה עדיף לייצור טרנזיסטורים תלת מימדיים
רחובות, 16 בספטמבר 2014 – נובה מכשירי מדידה (ת”א: נובה; נאסד”ק:(NVMI , ספקית מובילה של פתרונות מטרולוגיה אופטית לבקרת תהליכים מתקדמת בתעשיית המוליכים למחצה דיווחה היום כי יצרן שבבים מוביל בחר במערכות המדידה של נובה לתמיכה בפיתוח ובייצור עתידי של שבבים, הכוללים טרנזיסטורים תלת מימדיים בטכנולוגיות ייצור של 10 ו-7 ננומטר.
הפתרון של נובה ישולב במספר תהליכי ייצור, לרבות Front-endו- Back-end, וכולל את מערכות המדידה העצמאיות המתקדמות ביותר של נובה, את תוכנת המידול NovaMARS ואת מחשב העל הייחודי של נובה לחישוב פתרונות יישומי תלת מימד (HPC- High Power Computer).
נובה נבחרה כפתרון המועדף לאחר תהליך בחינה ממושך שנערך בין כל הספקים המובילים בתחום המדידות האופטיות. כחלק מתהליך הבחינה נדרשו הספקים להציג פתרונות מתקדמים להתמודדות עם אתגרים עתידיים למדידת מימדים קריטיים של טרנזיסטורים תלת מימדיים מסוג FinFET, הכוללים גם חומרים מורכבים.
הפתרון של נובה נבחר בזכות ביצועי מדידה עדיפים במספר יישומים נבחרים, תוך כדי מימוש רמת דיוק גבוהה בצי של כלי מדידה. גישת המטרולוגיה ההוליסטית של נובה, המשלבת את תוכנת המידול NovaMARS, ביחד עם ערוצי מדידה ייחודיים, כגון מדידות פרופיל ע”י DSR (Darkfield Spectral Reflectometry), הציגה את היכולת והגמישות הנדרשים לעמידה באתגרי הפיתוח והייצור בטכנולוגיות של 7 ו-10 ננומטר.
איתן אופנהיים, נשיא ומנכ”ל נובה: “אנו גאים בבחירת פתרון המדידה העצמאי שלנו לתמיכה בטכנולוגיות ייצור של 10 ו-7 ננומטר ע”י לקוח מוביל זה, ורואים בזאת הוכחה מוצקה למובילות הטכנולוגית ויכולת החדשנות שלנו בתחום המדידות האופטיות. זכייה זו מוכיחה את עליונות פתרונותינו עבור טרנזיסטורים תלת מימדיים מתקדמים ביישומי front-end ו-back-end. כמו כן, הזכייה מוכיחהשהאסטרטגיה שלנו לשיתוף פעולה עם לקוחותינו בשלב מוקדם של תהליך הפיתוח מייצרת ערך מוסף גדול יותר במעבר ליצור המוני”.
